В России создали новый источник ультрафиолета для микроэлектроники
2024-11-29 15:18:09
Ученые Национального исследовательского университета «МЭИ» разработали источник излучения в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (ЭУФ). Эта технология позволит улучшить процесс литографии микросхем, делая их компактнее и повышая быстродействие.
Подробнее https://www.ferra.ru/news/v-rossii/v-rossii-sozdali-novyi-...