Российский литографический сканер на 193 нм появится через два года
2025-05-14 19:12:06
Российская академия наук (РАН) планирует в ближайшие два года разработать литографический сканер с длиной волны 193 нанометра. Как заявил президент РАН Геннадий Красников, это оборудование необходимо для производства современных микросхем, включая чипы до 5 нм.
Подробнее https://www.ferra.ru/news/v-rossii/rossiiskii-litografichesk...