Российские учёные создали плазму для новых литографов
2025-06-20 13:19:30
Российские физики получили плотную и горячую плазму, которая станет основой для источников экстремального ультрафиолетового излучения. Эти источники необходимы для создания новых литографов — устройств, используемых при производстве микросхем.
Подробнее https://www.ferra.ru/news/v-rossii/rossiiskie-uchyony...