EUV-оборудование ASML нашло применение в биомедицине
2025-12-22 21:33:51
Исследовательский центр IMEC показал, что оборудование ASML для EUV-литографии, применяемое в производстве микросхем, может использоваться и в биомедицине. С помощью экстремального ультрафиолета удалось наладить изготовление нанопор сразу на уровне целой кремниевой пластины.
Подробнее https://www.ferra.ru/news/techlife/euv-oborudovanie...